<<
>>

Механосинтез и нанофабрика

  В последнее время бурное развитие электронной, атомносиловой и туннельной микроскопии, равно как и развитие информационных технологий, привело к тому, что сегодня наблюдения за поведением отдельных атомов стали доступны широкому кругу исследователей.

На рисунке изображена поверхность CD-ROM диска с атомарным разрешением — продукт современной визуализации наообъектов.

Кроме того, современная прецизионная техника позволяет не только визуализировать отдельные атомы, но даже манипулировать ими — катать по поверхности, переставлять с места на место и т.д. Об успехах в этом направлении говорит популярность так называемой “нанолитографии” — выкладывания из атомов различных “рисунков” на поверхности подложки. На рисунках представлены несколько примеров подобного “нанорисования”.

Выкладывать по подложке различные “атомные рисунки”, конечно, интересно, но имеет ли это какой-нибудь практический смысл? Ведь одна из главных идей нанотехнологии состоит в том, чтобы производить обычные, необходимые человеку вещи, такие как еда, одежда, мебель, оргтехника и т.п., но улучшенного качества и из простого сырья.

Поэтому, несмотря на успехи микроскопии, до настоящей нанотехнологии, в том виде, в котором её описывал Дрекслер, сканирующим методам еще далеко. Согласитесь, сложно представить себе массовое производство какого-нибудь продукта, основанное на работе сканирующего микроскопа, поатомно собирающего каждый предмет. Даже если мы будем размещать атомы со скоростью один атом в секунду (что соответствует скорости современных нанотехнологических установок), то сборка малюсенькой батареечки для наручных часов заняло бы более 1017 лет, что в десять миллионов раз превышает возраст нашей Вселенной!

Конечно, при виде подобных чисел может показаться, что нанотехнология по Дрекслеру невозможна в принципе.

Но ведь это происходит только оттого, что мы подходим к ней с привычной для нас точки зрения: измеряем расстояние и время в макроскопических величинах — метрах и секундах.

Но в наномире действуют совсем иные величины: миллиардные доли метра и миллиардные доли секунды. Если б мы были нанометровыми человечками, то вращение сверла бормашины в зубном кабинете казалось бы нам таким же медленным, как обычному человеку — вращение Земли вокруг Солнца. А ведь Земля вращается не так уж и медленно — 30 км/с! А за то время, пока обычный человек успел бы моргнуть своим “громадным” глазом, мы бы успели основать и построить наноскопический Санкт-Петербург, такой же, как тот, на сооружение которого у обычных людей ушло около 300 лет!

Таким образом, нанометровые инструменты и манипуляторы, в отличие от современных макроскопических, могли бы быть очень быстрыми. Если движение большой и тяжелой “руки” макроскопического робота-сборщика занимает секунды и тратит киловатты энергии, то наноробот способен перебирать своими “ручонками” за миллиардные доли секунды, затрачивая всего лишь миллиардные доли ватт. Кроме того, промыш

ленная установка весом всего 1 грамм, как показывают расчеты, может иметь более 1017 наноманипуляторов. С помощью такой установки те же батареечки, которые при макроскопическом подходе нереально собрать из атомов, можно будет “штамповать” десятками тысяч штук в секунду!

Возможность производить любую вещь по желанию ее владельца издревле будоражила умы людей. Вспомните хотя бы мечты алхимиков о философском камне. И вот в конце ХХ века, имея за плечами более основательный багаж знаний о природе, чем в Средние века, человечество вновь возвращается к своей древней мечте, предлагая в качестве подобной “скатерти-самобранки” идею нанофабрики — небольшой установки, способной на молекулярном уровне создавать различные предметы.


Рис 166.

Схема процесса сборки продукции в нанофабрике

Впервые о подобной нанофабрике упоминал еще основатель нанотехнологии Э. Дрекслер. Впоследствии другими учеными было предложено огромное количество проектов молекулярной нанофабрики, среди которых наибольшую популярность получили проекты, основанные на конвергентной и параллельной сборке.

Идея конвергентной сборки принадлежит Крису Фениксу — директору Центра ответственных нанотехнологий CRN (Center For Responsible Nanotechnology, США). Ее суть заключается в том, что конечный продукт составляется из маленьких кубиков, последовательно объединяющихся во все более крупные “строительные блоки”. Весь процесс осуществляется с помощью так называемых фабрикаторов, способных захватывать отдельный блок, перетаскивать его в нужное место и соединять химическими связями с другими.

Фабрикатор, являясь ключевым устройством нанофабрики, представляет собой управляемое устройство, способное комбинировать атомы друг с другом, создавая различные химические связи между ними. Фактически, фабрикатор — это наноманипулятор, связанный с компьютером и линией доставки сырья. В отличие от мобильного наноробота-ассемблера он неподвижен и привязан к какой-либо основе.

Итак, процесс конвергентной сборки выглядит следующим образом: сначала самые маленькие фабрикаторы создают из атомов элементарные “кирпичики”. Затем фабрикаторы побольше берут эти “кирпичики” и соединяют их друг с другом в более крупные блоки. Эти блоки, в свою очередь, также соединяются между собой фабрикаторами третьего уровня и т.д. Весь процесс повторяется до тех пор, пока необходимый продукт с заданной пользователем формой, структурой, размерами и пр. не будет собран полностью.

Весь процесс напоминает роботизированную сборку изделия на обычной фабрике. За счет того, что сборка на самом деле происходит не поатомно, а все возрастающими блоками, время производства конечного продукта не выходит за рамки разумного.

Суть параллельной сборки еще проще: матрица из множества одинаковых наноманипуляторов, работающих одновременно, создает необходимый предмет, как бы наращивая его слой за слоем.

Если мы хотим произвести продукт высотой 1 мм, это потребует укладки 100 тысяч атомных слоев. Если один сборщик будет обслуживать поверхность около 5000 атомов и укладывать 4 слоя в секунду, сборка полного продукта займет несколько часов. Таким образом, скорость работы сборщиков должна быть не меньше 20.000 атомов в секунду. Конечно, ломать - не строить, но, как мы уже писали, современный атомный томограф разбирает поверхность с такой же скоростью, успевая записывать параметры каждого атома.

Предполагается, что первые примитивные нанофабрики смогут строить предметы на основе алмазоида, благодаря относительной легкости образования ковалентных связей между атомами углерода. Теоретические расчеты показывают, что создание алмазоидных поверхностей и структур методами механосинтеза вполне осуществимо. Необходимо только иметь поатомное описание вещи, которую надо собрать (оно должно включать как взаимное расположение атомов и их типы, так и химические связи между атомами).

Чтобы выпускать продукт в больших количествах, производство должно быть автоматизировано и поставлено на поток. Если на сегодняшний день НЭМС-системы изготавливаются долго и с большим трудом, то нанофабрика значительно облегчит их производство и тиражирование. Также нанофабрика сможет делать свои копии, т.е. реплицироваться.

Ну а как же сделать саму нанофабрику, состоящую из триллионов отдельных фабрикаторов? Построить нанофабрику с помощью одного фабрикатора будет сложновато. Скорее всего, несколько фабрикаторов объединят в блоки мини-фабрик, которые соберут фабрику побольше, и так до тех пор, пока это производство не достигнет макроскопического уровня. Результатом этого “производственного роста” и будет искомая нанофабрика.

На первый взгляд идея саморепликации механизмов, пусть даже молекулярных, вызывает некоторое недоверие — как такое возможно? Но природа создала множество разнообразных «репликаторов» (ДНК, вирусы, животные), а последние исследования НАСА (Национального аэрокосмического агентства США) показали, что искусственные машины, делающие свои копии, могут быть не сложнее, чем существующий чип Pentium IV Компания General Dynamics совместно с НАСА провела исследования возможности постройки реплицирующихся клеточных автоматов. Математическое моделирование этих систем продемонстрировало возможность постройки репликаторов вообще и нанорепликаторов в частности.

Интерес НАСА к репликаторам объясняется просто: для освоения Луны и тем более Марса потребуется огромное количество оборудования и рабочих рук — даже больше, чем люди использовали для освоения Земли (другие планеты ведь надо еще терраформировать — переделать атмосферу, построить дороги и т.п.). Запускать туда миллионы космических кораблей с миллиардами тонн грузов нереально и дорого. Зато небольшая команда макроскопических роботов-репликаторов весом всего 20 тонн сможет размножиться и самостоятельно построить все необходимые рудники, электростанции, заводы и фабрики. Для участия в этом проекте НАСА, кстати, пригласила Роберта Фрайтаса — известного специалиста по нанороботам. А самих репликаторов придумал в 1960-х основатель кибернетики фон Нейман, правда, только в теории — тогда никто не ожидал, что вскоре они вплотную приблизятся к реальности. По предварительным расчетам, построение первого репликатора займет около 10-15 лет.

Нанофабрика будет иметь блочную конструкцию, чтобы можно было легко сделать ее копию с помощью другой нанофабрики. Блочная система также будет удобна для производства различных компонентов НЭМС-систем, нанокомпьютеров и нанороботов. Каждый фабрикатор должен быть способен произвести наноблок размерами 200х200х200 нанометров. Эта структура принимается К. Фениксом как элементарный “кирпичик” нанофабрики.

Подобный наноблок может содержать нанокомпьютер (механический или квантовый) или системы привода нанофабрики, генераторы, части конвейеров и наноманипуляторов. Для изготовления одного такого наноблока фабрикатору понадобится несколько часов. По теоретическим расчетам Криса Феникса, одна готовая нанофабрика сможет всего за два дня произвести свою точную копию. На первый взгляд — долго. Но посмотрим, сколько понадобится дней, чтобы каждый житель земли получил в подарок по нанофабрике, при условии, что каждая вновь произведенная фабрика начинает в тот же момент строить свои копии:

День

Количество произведенных нанофабрик

1-й

1

одна

3-й

2

5-й

4

7-й

8

9-й

16

11-й

32

13-й

64

15-й

128

17-й

256

19-й

512

21-й

1024

тысяча

23-й

2048

25-й

4096

27-й

8192

29-й

16384

31-й

32768

33-й

65536

35-й

131072

37-й

262144

39-й

524288

41-й

1048576

миллион

43-й

2097152

45-й

4194304

47-й

8388608

49-й

16777216

51-й

33554432

53-й

67108864

55-й

134217728

57-й

268435456

59-й

536870912

61-й

1073741824

миллиард

Табл 9. Скорость размножения нанофабрик

Вот и получается, что через пару месяцев после начала репликации у всех жителей Земли будет по нанофабрике. Плохо это или хорошо — пока неизвестно, ясно одно: технология эта

разработана таким образом, чтобы производить максимальное количество продукции за короткий срок.

Функциональные блоки нанофабрики

Нанофабрике потребуется серьезная система охлаждения — ведь плотность ее мощности велика (для нанофабрики размерами 0,5х0,5х0,5 м номинальная мощность составит около 200 КВт). Поэтому ее архитектурой предусмотрена система охлаждения внешней оболочки и макроузловых сборок с высоким давлением, которая далее разветвляется на охлаждение среднего давления (в промежуточных стадиях сборки) и на систему низкого давления (для охлаждения отдельных наноблоков с фабрикаторами).

Кроме того, предполагается обеспечение нанофабрики системой связи с центральным компьютером, а также системой транспортировки готовой продукции. Специальный сортировочный ротор будет выбирать из поступающего сырьевого материала лишь те атомы и молекулы, которые необходимы для каждой конкретной операции, для гарантии ее точной, бездефектной и безаварийной работы и т.д. Большинство таких блоков могут быть реализованы в виде МЭМС- и НЭМС-устройств.

С одной стороны к нанофабрике будут присоединены баллоны с сырьем - молекулами и атомами, а также охладителем. С другой - интегрированный CAD-интерфейс для проектирования продукта. Представьте себе, что к вашему ноутбуку присоединили небольшой ящичек размерами 0,5х0,5х0,5 м. Далее на компьютере запускают программу типа 3D MAX и предлагают вам что-нибудь нарисовать. Например, стеклянный шар. Вы рисуете его, указывая тип стекла, его характеристики, цвет, плотность и пр. и, в результате из ящичка выходит нарисованный вами шар. Теперь вы изменяете тип материала, из которого изготовлен шар, на, например, “свинину”, и из ящичка через некоторое время выпадает идеально круглый шар из свинины...

Однако зачем делать шарики из свинины? Нарисуем лучше руку робота из алмазоида размерами менее 1 мкм с помощью стандартных инструментов, и присоединим ее к нашему шару (только размерами поменьше, скажем, 1 мкм), оснастив его механокомпьютером (тоже стандартным инструментом) и добавив “батарейки”. Все, наноробот готов! Зададим в управляющей программе количество побольше, и из ящичка выйдет серия таких нанороботов (правда, вряд ли их можно будет увидеть невооруженным глазом). Или ж,е нажав на фабрике кнопку “repИcatе”, мы через два дня получим копию нанофабрики.

Рис 169. Вид нанофабрики в представлении художника

Итак, что мы имеем? Алмазная фабрика размером с монитор может выпускать продукт размером 10*10*10 см и весить 4 килограмма. Производственный процесс займет около 3 часов. При этом продукт будет иметь упорядоченную структуру вплоть до атома. Репликация подобной фабрики займет около двух дней. При этом стоимость продукта будет зависеть только от стоимости сырья, из которого изготовлены продукты. Мощность фабрики составляет около 200 кВт. Фабрика полностью автоматизирована и будет соединяться с персональным компьютером, образуя производственный комплекс.

Человек-оператор сможет создавать различные продукты в специальной САПР, подобно тому, как сегодня создают чертежи деталей машин. Фабрика повторит конструкцию с точностью до атома. Такая фабрика благодаря своим размерам может стать основой производственного комплекса любого частного лица. Столь мощного орудия производства у человечества еще не было, и с его появлением производственный процесс сведется к разработке самого продукта или скачиванию его чертежей из Интернета. Вероятно, в квартирах будущего вместо

холодильников будут стоять нанофабрики, специализированные под производство продуктов питания и изысканных деликатесных блюд, а в мире будет ходить информационная валюта, с помощью которой можно будет купить файлы с новыми продуктами, предметами и пр.

Не забудем и про спам! Толпы рекламных существ и механизмов, вылезающих из нанофабрик, подключенных к всемирной товарообменной сети, станут будить вас каждое утро. Зато друзья всегда смогут переслать вам не только фотографии, из нового путешествия, но и вполне реальные сувениры.

Мечты мечтами, но прежде чем построить первую нанофабрику, человек должен сначала научиться создавать ее мельчайшие детали — наноманипуляторы, с помощью которых фаб- рикатор мог бы захватывать отдельный атом, удерживать его, отрывать из одного места и присоединять к другому. Напоминаем, что процесс образования или разрыва химической связи таким механическим способом традиционно называется механосинтезом.

Но как это осуществить? Каким образом манипулятор сможет захватить и удержать атом? “Приклеить” его в нужное место?

Ответ прост. Мы знаем, что атомы “приклеиваются” друг к другу посредством химической связи. Значит, для того, чтобы захватить и удержать отдельный атом, манипулятору придется образовать с ним химическую связь некоторого типа. Добавление нового атома в нужное место потребует точно такого же “приклеивания” атома к собираемому предмету посредством химической связи, но более прочной, чем связь, удер-живающая атом на манипуляторе.

Разработка такого манипулятора — главная цель всей современной нанотехнологии, на сегодняшний момент, к сожалению, никем не реализованная. Однако существуют теоретические проекты различных

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ инструментов механосинтеза, несомненно, заслуживающих внимания. Рассмотрим некоторые из них.

Вспомните, что представляет собой структура любой алма- зоидной конструкции: не что иное, как решетку из атомов углерода, соединенных с четырьмя другими атомами ковалентной связью.

Стало быть, в качестве сырья для создания предметов из алмазо- ида могут выступать различные углеводороды (вещества, молекулы которых состоят из атомов углерода и водорода), широко распространенные в природе и промышленности. Примером углеводородов могут служить, например, метанбензол

), ацетилени пр.

Поэтому, во-первых, необходим инструмент, который служит для отщепления от молекулы атома водорода. Такой инструмент был предложен Э. Дрекслером.

“Инструмент Дрекслера” представляет собой “хваталку”, держащую на конце атом углерода со свободной ковалентной связью. Когда инструмент приближается к нужной молекуле на расстояние приблизительно 10,8 нм, атом водорода сразу присоединяется к нему, едва “почуяв” рядом возможность образовать ковалентную связь с углеродом.

Отщепив водород от молекулы или поверхности, мы, тем самым, наделяем ее саму реакционной способностью. Если рабочая зона находится в вакууме, то на место водорода можно механически присоединить другой атом или молекулу, от которой также оторвали водород.

Если же в момент отщепления водорода в рабочей зоне нанофабрики находится в свободном состоянии какое-нибудь вещество, способное к реакции с углеродом, оно быстро займет место удаленного водорода. Наполнив рабочую зону углеродсодержащими парами, можно легко синтезировать алмазоидные структуры, вот так отщепляя от алмазной пленки водород в нужных местах.

ГЛАВА 5. Инструменты нанотехнологии

Антиподом инструмента Дрекслера является “инструмент присоединения водорода ”, сконструированный так, чтобы атом водорода, слабо прикрепленный к его концу, мог легко вступать во взаимодействие с химически активной молекулой или поверхностью. Чтобы связь была достаточной слабой, водород прикрепляется к атому олова (Sn).

Чтобы строить собственно алмазоидную поверхность, необходим инструмент, способный присоединять к ней атомы углерода. За это отвечает “инструмент Фрайтаса”, который может точно прикрепить димер С-С к синтезируемой поверхности и затем отсоединиться от нее. Инструмент спроектирован так, чтобы к нему димер прикреплялся относительно слабо и обладал высокой реакционной способностью. Захватывающим концом инструмента могут быть атомы Si, Ge, Sn, Pb (в порядке ослабевания связей с углеродом). Эти атомы удерживаются под большим углом алмазо- идными держателями. Инструменты, содержащие переходные металлы, могут быть полезны как катализаторы различных реакций.

“Инструменты Меркле”— свободные радикалы С, Si и Sn и инструмент со свободной двойной углеродной связью, предназначенные для выполнения различных вспомогательных операций.

Инструменты присоединения функциональных групп. Существует великое множество таких групп, например, —ОН, - СООН, -СОО-, -С1, -NH2 и т.п., способных сильно влиять на функциональность продукта. Каждая из них может быть с одной или нескольких сторон химически присоединена к углеродным каркасам, образовывая, соответственно, функциональ-

www.nanonewsnet.ru

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ ные поверхностные структуры и соединительные перемычки. Необходимость создания таких инструментов объясняется, отчасти и тем, что без некоторых функциональных групп может оказаться невозможным ни создание наноактюаторов, ни сложных наносистем. А ведь без этого невозможно создание и самой нанофабрики.

Кроме того, разрабатываются и другие интересные инструменты. Например, исследователи компании IBM модернизировали СТМ так, чтобы с его помощью отщеплять или присоединять к атомам отдельные электроны, что сразу влияет на их реакционную способность. Химики из Орегонского университета создали хелатор - молекулярные «крабовые клешни», которые захватывают отдельные атомы мышьяка.

Несмотря на то, что в настоящий момент пока не существует инструментов, способных так изящно манипулировать атомами, некоторые практические шаги в этом направлении все же сделаны. То и дело в новостных рассылках появляются сообщения об изобретении того или иного устройства, способного манипулировать если не единичными атомами и молекулами, то небольшими кластерами, что уже очень неплохо.

Одним из лидеров в этом направлении является компания Zyvex, которая уже на протяжении нескольких лет выпускает МЭМС-системы из четырех скоординированных между собой наноманипуляторов с тремя степенями свободы каждый, предназначенных для захвата, измерения, позиционирования и сборки микро- и наноразмерных образцов. Устройство обеспечивает как грубое позиционирование каждого манипулятора на 12 мм по всем трем осям с разрешением 100 нм, так и точное

позиционирование с разрешением менее 5 нм. Манипуляторы представляют собой микропинцеты различной конфигурации, обеспечивающие микросборку, манипуляцию и анализ частиц размером до 500нм.

Применяются такие устройства в основном при разработках в области энергетики, мате *

ГЛАВА 5. Инструменты нанотехнологии

риаловедения, изучении поверхностей, в электронике, биотехнологии и т.д. Современные нано-манипуляторы — это сложные механизмы, довольно большие и тяжёлые (даром, что носят приставку «нано»), а главное, очень дорогие — десятки тысяч долларов.

Вот если бы удалось создать аналог с более умеренной ценой, то, представьте, сколько небольших лабораторий, компаний и изобретателей смогли бы попробовать свои силы в нанотехнологиях. Именно об этом думает профессор Массачусетского технологического института Мартин Калпеппер, собравший наноманипулятор HexFlex почти что из подручных материалов.

Его манипуляторы просты (но эта та простота, для достижения которой потребовалось много бессонных ночей), компактны и дёшевы, а изготовить их легко без применения каких- либо «супернавороченных» технологий. Упрощение конструкции позволило умельцу создать самый маленький в мире наноманипулятор — диаметром менее миллиметра.

Но использование механических наноманипуляторов для оперирования атомами и наноструктурами — не самый изящный вариант. Вспомним, что в квантовом мире волны столь же осязаемы, как частицы, и сразу на ум приходит идея манипуляторов, состоящих из... света.

Исторически первенство в оптическом манипулировании атомами принадлежит отечественным ученым. Метод “микроуправления светом” был впервые применен в 1979 году советскими физиками под руководством Владилена Летохова из Института спектроскопии, которые сумели затормозить атомы натрия с помощью пучка света. В 1986 году американские исследователи из компании Bell продемонстрировали действие так называемого “оптического пинцета”.

Когда лазерный пучок неоднороден, частица втягивается в область наибольшей яркости излучения — как шарик скатывается в низину. Это происходит потому, что при изменении нап- *

Перепечатано c http://psdam.mit.edu

www.nanonewsnet.ru

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ

равления потока фотонов (обладающего, как и все квантовые частицы, импульсом) возникает сила, сдвигающая пойманную частицу. Перемещая фокус луча, можно передвигать “пойманные” нанообъекты или даже выстраивать из них разнообразные конструкции.

Лазерные лучи, гораздо более нежные чем механические «лапы» обычных манипуляторов, охотно применяют биологи для захвата клеток, молекул ДНК, хромосом и т.п.

В последнее время были созданы еще более замечательные оптические инструменты. Применяя специально подобранные линзы, инженеры формируют лучи с заданными свойствами — так называемые Бесселевы пучки. Силы в них действуют вдоль луча или с вращением вокруг его оси. Захватывая нанообъекты, эти пучки способны двигать их вдоль луча или вращать. В Самарском Институте систем обработки изображений группа под руководством Виктора Сойфера использовала пучки Бесселя, лазерный луч в которых закручивался в спираль при помощи специальных линз — дифракционно-оптических элементов. Используя всего один такой элемент, удалось захватить, перемещать и медленно вращать микроорганизмы дрожжей диаметром 5—10 микрон и частицы полис-

3

тирола. Ученые надеются, что при помощи этих технологий смогут работать приводы в наномеханизмах будущего.

Тем временем американская военная компания Arryx создала специальный жидкий кристалл, разделяющий лазерный луч на 200 отдельно управляемых лучиков, каждый из которых может манипулировать нанообъектами. С помощью этой системы уже удалось аккуратно размещать нанотрубки на поверхности чипа, что позволит строить сверхбыстрые наночипы.

Мы не раз уже говорили о сходстве природных и искусственных наномашин. Раз они так похожи, то почему бы не пойти в создании наноманипуляторов еще одним путем: поймать каких-нибудь микробов и привлечь к труду — например, сборке нанодеталей. Именно к этму стремится американский ученый Роберт Хэймерс. Он уже научился манипулировать живыми бактериями с помощью электромагнитного поля.

В опыте участвовали бактерии Bacillus mycoides. Они имеют форму прутка длиной 5 микронов и диаметром 800 нанометров. Бактерии поместили в водно-глицериновый раствор, покрывающий кремниевый чип. На золотые электроды подали переменное напряжение с частотой 1 МГц. В результате бактерии выстроились вдоль силовых линий электрического поля, касаясь с двух сторон электродов. Микроорганизмы послужили своего рода нанопроводниками, пропуская небольшой ток, с помощью которого исследователи установили их месторасположение. Затем, создав медленный ток жидкости, исследователи смогли перемещать бактерии вдоль электродов.

Хэймерс предлагает использовать бактерий для перемещения и сборки нанодеталей - квантовых точек, нанотрубок, наночастиц. На детали наномашин планируется наносить белковые маркеры, комплементарные (взаимно соответствующие) маркерам на поверхности микроорганизмов. Затем бактерии перемещают в нужные места и осуществляют сборку.

<< | >>
Источник: Мария Рыбалкина. НАНОТЕХНОЛОГИИдля всех. 2005

Еще по теме Механосинтез и нанофабрика:

  1. Определения и классификаторы нанотехнологий
  2. Механосинтез и нанофабрика